软件 · 中性粒子输运

EIRENE

用于追踪原子、分子及相关碰撞过程,为偏滤器粒子排散和抽气分析提供中性粒子模型。

关键问题等离子体背景、原子分子过程和抽气边界如何影响排散结果?
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工程意义

工程价值

中性粒子输运决定电离、复合、抽气与排散效率的解释基础。

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